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        Semiconductor Equipment
        半導體裝備
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        CST清洗設備
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        CST清洗設備

        所屬分類 : 半導體裝備
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        基本規格:

        -產品說明:清洗卡匣,確??ㄏ辉诋a線運行的潔凈度;

        -適用范圍:G6 CST和G6 Half CST;

        -工藝流程:加載→玻璃和卡匣感應檢測→熱DI高壓清洗→DI清洗→CDA風機(風干)→1#熱烘干→2#熱烘干→卡匣變形檢驗→卸載;

        -干燥方式:卡匣在干燥室內旋轉通過熱風進行烘干;

        -設備節拍:根據客戶需求設計;

        -產品定制:室體規格根據Cassette規格設計;有一室/二室/三室等規格可選擇;


        金屬

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